二手 KLA / TENCOR SFS 6420 #9017662 待售

KLA/TENCOR SFS 6420晶圆测试和计量系统是一种用于测量和分析先进半导体技术器件的最新系统。KLA SFS 6420构建在一个集成的硬件和软件平台上,该平台提供了多种检查工具,以实现强大的过程控制和产量管理。TENCOR SFS 6420利用300 mm晶圆检测工具来测量和分析多种参数，包括缺陷检测、拓扑特征、掩码对齐、迭加精度等。它能够分析厚度从200 μ m到12.6 μ m的晶片，并将其装载到机械臂上进行分区和移动。利用尖端光学技术，SFS 6420能够评估高分辨率模具图和任何其他拓扑特征。KLA/TENCOR SFS 6420的缺陷检测技术，能够检测和识别感兴趣的特征，如位错、晶粒、颗粒、形状不规则的凹坑或孔，特征太小，肉眼无法解决。其高灵敏度还允许检测加工过程中引入的微小颗粒。KLA SFS 6420可以捕获晶圆表面的细分，以便进一步分析和评估缺陷大小和密度。在测量掩模对准和覆盖精度时,TENCOR SFS 6420利用强大的覆盖计量方法来评估同一晶片上两个特征之间或两个不同晶片之间的对准参数变化。它能够检测不同结构之间的微妙错位，在常规光学显微镜下不可见。这将立即提供层之间变化的反馈,并有助于确定故障分析或产量改进的任何处理问题。SFS 6420的软件平台WinSFS确保了对测量过程的全面控制，从配方参数设置到测量结果的显示。它还为进一步的数据处理提供各种数据采集和分析工具。此外，其用户友好的界面使得它容易访问晶圆检查和计量需求。综上所述，KLA/TENCOR SFS 6420晶圆测试计量系统是一种先进的测量工具，能够对晶圆进行高分辨率和精确度的分析。其综合软件平台为控制检验计量过程、缺陷分析、提高产量提供了用户友好的体验。