二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9242165 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是为电子元件的高效、精确处理而设计的光阻系统。该装置采用多区三级自旋工艺，能够在广泛的特征和基板上可靠和可重复地生产均匀的光刻胶薄膜。它能够处理从18mm到600mm的晶圆。ASSI SV-702通过将精密旋转机和静态偏置电极相结合，提供了一种处理基板和特性的独特方法。偏置电极允许均匀的自旋速度和静态电场，从而允许最佳的自旋均匀性。该工具的设计目的是提供最高的吞吐量和准确度,其曝光时间低于旋转模式的第二、高均匀性和可重复性。该资产可用于正负光敏材料。通过使用加热的抗蚀室，光致抗蚀剂材料被加热并均匀地施加到基板上。加热室确保了均匀的温度曲线,从而实现了一致和均匀的旋转性能。这样可以消除漂移并消除过程中的错误。ADVANCED SPIN MODEL INC SV-702使用气动驱动设备旋转晶片并确保膜厚度和特征放置均匀。该系统还配备了一个主轴气动单元，可实现受控的抵抗应用速度，从而实现高水平的薄膜控制。它还具有自动化的过程控制功能,使操作员能够实时监控和调整参数。此外,该计算机还提供了多种数据记录功能,允许进行详细的后处理分析。SV-702还包括一个集成的视觉工具,可以即时检查最终产品。ADVANCED SPIN ASSET INC/ASSI SV-702是一种多合一光抗蚀剂模型,能够可靠地、精确地处理各种织物。其精密自旋设备、静态偏置电极、耐热室、气动传动系统、主轴气动和自动化过程控制，使得薄膜放置均匀，具有业界无与伦比的精度和可重复性水平。