二手 DNS / DAINIPPON XS4-I #9179455 待售

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DNS / DAINIPPON XS4-I
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
XS4-I
ID: 9179455
晶圆大小: 5"
Photoresist stripping system, 5".
DNS/DAINIPPON XS4-I是一种复杂的光刻设备,适用于多种光刻工艺,如硬、软掩蔽、元件封装、柔性电路。它以宽广的曝光纬度和高分辨率来满足高级光刻工艺的需求。DNS XS4-I能够以极高的精度实现最大的清晰度和可重复性,是解决恶劣工艺条件的可靠解决方桉。DAINIPPON XS4-I是一个数字显微曝光系统,配备了两个自动对焦头和一个独特的无臭氧原子氧清洗单元。它还具有用于全自动定位、对准和迭加的5轴电动机级。先进的照相模具玻璃和舞台也完全可编程,为复杂的应用程序提供灵活、准确的图样。XS4-I包括高度精确的两轴X-Y级,最大曝光面积为13.8英寸x 13.8英寸。该装置能够以高达每秒60个周期的速度曝光,并具有一个可扩展的光源,可选择从365nm到515nm的紫外线波长。DNS/DAINIPPON XS4-I还采用了通用Arfadian多级光电抗蚀剂技术,可提供卓越的分辨率和增强的化学稳定性。DNS XS4-I是各种光刻工艺的绝佳选择,主要用于使用负性光刻胶的应用。这台机器的高速度和精确度允许在广泛的应用中进行高制造输出。无臭氧原子氧清洗使其成为OLED和光柔性装置等臭氧敏感应用的理想解决方桉。直观的用户友好界面还允许轻松定制和操作工具,包括曝光模式、处理参数和软件更新。DAINIPPON XS4-I还具有全面的安全程序,可确保操作员在整个光刻过程中的安全。总体而言,XS4-I是一种特殊的光刻胶资产,能够实现高分辨率、清晰度和精确度,同时仍符合高级光刻工艺。它是光刻应用的理想解决方桉,需要高吞吐量和精确度。
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