二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9187823 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种光致抗蚀剂设备，旨在提供最高精度和可靠性。该系统将最新的光刻和成像技术与先进的光学单元设计相结合，使用户能够在各种基板上绘制亚微米特征图样。它为各种材料中形成精确的V形凹槽和沟槽提供了优越的图样精度、纯度和可重复性。机器的心脏是发出窄带紫外线的FSI Mercury影像灯。然后，一组滤光片将这种光溷合到最适合光抗蚀剂显影的波长中。优化的光谱允许抗蚀剂在保持最佳强度的同时迅速治愈。光致抗蚀剂工具利用高分辨率、激光扫描的具有九倍倍率的二元光学资产，以精细的细节曝光图桉。除了± 2 µm的可重复对准精度外，该型号还可实现小至0.5 µm的特征间距大小。设计的设备还带有晶圆放置阶段和先进的安全功能。舞台提供45°的倾斜角，用于精确绘制接触特征的图样和出色地控制抗蚀剂轮廓。此外,在光源和基板之间插入一层防反射膜,以减少散射,确保即使在非理想表面上也有令人满意的照明,并防止舞台过热。最后，系统中安装了安全互锁，以确保只有在机器处于稳定和安全状态后才会启动紫外线暴露。事实证明，TEL Mercury光致抗蚀剂装置在生产具有最高精度的光致抗蚀剂图样方面极其可靠。它可用于在各种基板上绘制超小型特征的图样，保证准确和可重复的结果。先进的光学、安全特性和可倾斜级相结合，也使其成为广泛光刻应用的理想选择。