二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199921 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury
已售出
ID: 9199921
晶圆大小: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种光刻设备,用于蚀刻或成形先进的电子设备,如微电子、基板。光致抗蚀剂是一种可以选择性地暴露在蚀刻或成形过程中的薄膜。它是微电子和电子工业中制造元件的关键,也是确保元件正确成型和尺寸的关键。FSI Mercury的设计目的是在更快的时间范围内提供精确的结果。它提供了精密图样的运动速度控制,以及高位置精度和对蚀刻或成形过程的高度控制。该系统还可以配置高级功能,如对准精度和脉冲宽度调制,以实现优化结果。该单元还结合了变温和精确蚀刻的曝光控制等功能,使边缘尽可能锐利。机器确保产品的形状在可接受的参数内。另外,该工具还可以使用离子束溅射进行溅射蚀刻,使其达到更高的精度。TEL Mercury也被设计为低维护,使其能够以最小的停机时间运行,进而导致成本效益更高的过程。它还具有高速脉冲宽度调制功能,能够从基板内部识别低对比度模式,从而提高了生产效率,提高了小型组件的精度。总体而言,Mercury是在精密蚀刻或成型高端电子、微电子和其他基板方面用途广泛且可靠的工具。它的功能使它能够比以往更快地提供准确的结果,同时确保最小的停机时间和更高的工作效率。这使其成为各种行业应用的理想选择。
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