二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9221786 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury
已售出
ID: 9221786
Spray cleaning system.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种用于减法蚀刻工艺的光刻设备。该系统使用一系列光学元件在基板表面创建均匀、精确的遮罩图桉。光致抗蚀剂是一种感光膜,可以施加在基板上并暴露在强烈的光源下。光源可以是紫外线,也可以是可见光,这取决于所使用的光敏材料的类型。然后用化学显影剂或热板显影剂开发暴露的光致抗蚀剂材料。然后在蚀刻过程中将显影的抗蚀剂模式转移到底层基板上。FSI Mercury能够在各种材料如硅、石英和金属中产生精确的三维图桉。该单元使用无掩模步进器将掩模精确定位在基板上。这种定位的精确度允许创建极精细的分辨率模式。此外,步进器的精度确保产生的抗蚀剂模式将是一致的和可重复的。该机还使用了多种成像光学器件,包括ameroid、投影和二极管激光器,以确保基板的精确光学成像。这使得产生的晶圆表面图样具有很高的分辨率。此外,集成的全局照明映射可确保晶圆的所有表面均匀一致地暴露。TEL Mercury还具有多种工艺控制,包括温度、压力和化学溶液,以允许大量的抗蚀剂开发和蚀刻工艺。这一系列的工艺控制允许用户轻松地为金属、石英、多晶硅和IC等材料配置蚀刻工艺。此外,Mercury还配备了一系列软件工具,旨在简化蚀刻过程。这些工具提供成像和蚀刻参数的数字监测和控制,有助于确保产生最佳模式。此外,该工具还包括自动抗蚀剂开发以及保存和存储针对特定用户需求的配方等功能。总体而言,TOKYO ELECTRON MERCURY是一种光致抗蚀剂资产,旨在为各种蚀刻工艺产生精确的抗蚀剂图桉。它包括各种成像光学和过程控制,以帮助用户配置模型以获得最佳结果。此外,还提供了一系列软件工具来简化蚀刻过程,并确保抗蚀剂模式一致且可重复。
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