二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9237638 待售

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ID: 9237638
Spray cleaning system P/N: 300982-003.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一种光致抗蚀剂设备,用于多种芯片制造工艺。光致抗蚀剂,或称光致抗蚀剂,是一种用于形成电子设备部件的材料。它是一种光敏聚合物,在暴露于光线下会改变其化学和物理性质。光致抗蚀剂可以用来沉积金属,制造蚀刻图桉,形成芯片的绝缘层。FSI Mercury系统是一种先进的光刻工具,提供卓越的性能.该单元由一个具有步进重复能力的步进单元和一个使用高效氙灯光源的大面积曝光机组成。大面积曝光工具可实现全自动制造过程,节省大量时间。它还提供了更高的分辨率、一致的性能以及与光刻胶资产相比更好的对比度。TEL Mercury模型还具有自动晶圆处理设备和自动对准系统。晶圆处理单元允许精确控制晶圆并将其放置到曝光工具中。自动对齐机利用先进算法进行高度精确的模式放置。这确保了结果的准确性将是极其一致和可重复的。该工具利用了一系列专门的光学器件,这些器件被设计用来将光过滤并引导到晶圆上。这样可以实现均匀而强大的光强度,这对于高精度的阵列设备至关重要。此外,光学器件能够调制光,以达到不同的光学效果和控制曝光时间。汞资产是高精度芯片制造的多功能、强大工具。它提供精确的控制、优越的对比度、均匀的光照强度和精确的对准,允许高效生产半导体器件。该模型旨在实现芯片制造的最高性能和可靠性,使其成为芯片制造商的宝贵工具。
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