二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158302 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000是一款为先进的微加工应用而设计的高精度光刻设备。该系统融合了众多功能，旨在提高其性能和输出质量，使其能够满足大多数先进半导体工艺的要求。FSI Polaris 2000配备了深紫外线光源和低温烘焙室。这样可以确保在加工过程中颗粒和污染水平低以及精确的曝光时间。还包括一个高精度的掩模对齐器，保证精确生产复杂的图样和特征。为了确保精确和可重复的结果，TEL Polaris 2000包含了一些能够精确控制光刻胶工艺参数的功能。其中包括用户定义的暴露和开发过程配方、化学浴池的精确质量流量控制器,以及一系列自动维护程序,以使设备在很长一段时间内保持最佳运行状态。TOKYO ELECTRON POLARIS 2000随附的热控机也是为了高精度和精确度而设计的。这确保了光刻烘烤过程中温度一致和温度分布平坦，这对于取得均匀结果至关重要。内置的安全性和人体工程学特性有助于确保操作员的安全和舒适性。该工具包括自动化学浴级别监控、自动排气、温度安全联锁以及用户友好的自动化组件。总体而言,Polaris 2000资产是先进微加工工艺的理想解决方桉。它的特点组合使得它非常精确和可重复，它的安全性和人体工程学特性确保它是安全和舒适的使用。