二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158303 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000是为下一代先进集成电路制造而设计的光刻加工设备。光敏处理是制造集成电路的一项必不可少的技术，因为它被用于制作感光材料层上的图样。FSI Polaris 2000配备了先进的双面纺纱晶片支架，以促进光敏涂层的均匀性。该系统还包括一个湿加工站，具有用于高效制造的自动模块清洗，以及自动防反射涂层。该单元旨在确保精确的模式配准和高分辨率的光学性能，确保复杂的设计可以在半导体晶片上精确复制。此外,机器还可以处理多种类型的抗性材料,包括正音和负音材料,使其易于在开发和生产中使用。该工具还能够结合溷合和匹配模块以满足特定的客户应用程序需求。溷合和匹配模块包括热温扫描、设计规则检查器和平面处理模块。该资产除了具有快速、准确的光刻胶处理能力外，还具有创新的用户界面，以提高生产率。易于使用的图形用户界面（GUI）允许操作员快速自定义配方并快速调整流程参数,而无需手动调整平衡。最后，TEL Polaris 2000有一个内置的自测模型，以确保设备在生产前和生产过程中操作正常。该系统包括自我诊断模块、维护周期模块和持续质量保证模块。这样一个综合性的单元帮助用户充分利用自己的光刻胶制造工艺，确保了一致的高质量产量。