二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9167965 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
已售出
ID: 9167965
晶圆大小: 8"
Coater / Developer, 8" Area: P-TEST.
FSI/TOKYO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 2000光刻设备是一种用于半导体和集成电路制造的高端光刻工具。它使用户能够在集成电路组件上创建精确的电路模式。该系统具有高分辨率投影镜头、高速步进器、石英激光源和专有的自动曝光单元。该机具有亚微米级分辨率,同时实现高产率和提高生产率。优越的光学元件可以直接成像较小的特征,而无需额外的元件。该工具包括一个复杂的焦距控制资产,允许用户在创建复杂的模式时达到最佳精度水平。FSI Polaris 2000具有精密和高速步进电机,允许用户选择可提供最佳结果的曝光参数。该模型支持喷涂和旋转涂层工艺,以便在制造过程中提供精确的层厚度。该设备还包括一个石英激光源,它提供了卓越的微焦和高的曝光性能。TEL Polaris 2000管理的专有自动曝光系统旨在减少曝光时间并最大限度地提高产量。自动曝光单元利用高级算法确定给定基板的最佳曝光参数。机器还会自动调整过程相关变量,并适应刀具参数随时间的漂移。该资产包括一个直观的触摸屏界面,便于操作。TOKYO ELECTRON Polaris 2000的操作范围很广,允许使用者创造出高达0.1微米大小的特性。该模型设计为适合狭窄的空间,可提供多种配置,以适应不同的机床布局。该设备与多种光刻材料兼容,可与热和非热系统同时使用。北极星2000是一种先进的光刻系统,适用于各种各样的半导体和集成电路应用。它的高分辨率投影镜头、高速步进器、石英激光源和自动曝光单元为用户提供了在各自行业中需要出色的精度、速度和产量。
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