二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9202286 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS 2000光刻设备是一种多功能、低体积、CASS/光刻系统，用于集成电路生产。FSI Polaris 2000是一款全模具尺寸的光刻装置,具有覆盖12英寸宽的晶片的划线区域。该机器的设计考虑到了过程的灵活性和可扩展性，为多层设备的生产提供了光刻工艺。该工具利用光刻胶资产和计算机辅助光刻技术（CASS）将单层光刻胶精确地应用于多层设备。该机配有6.5KW电容电源、多波形发电机和用于均匀固化层的双区加热。电源既提供精确度,又提供各种功率级别,从而提高了精度和可重复性,而CASS和多区则允许光刻胶的精确对准、分辨率和曝光。该模型允许在受控环境中精确分配光刻胶溶液。两步分配过程；第一步采用变速分配泵，第二步采用可调气刀，对目标层的光刻胶流动进行成形和控制。该机还具有可调节的气刀，允许流量高达12英寸宽，以及速率和音量控制。自动吊舱装卸功能允许底物装卸完全自动化,并提供与其他FSI系统的集成就绪集成。该机还提供了数字图像分析、自动胶片厚度测量、提高数据可重复性等多种增强选项。宝丽来2000设备的处理时间范围在12秒以下至近12分钟，可提供低至0.3微米、高至600微米的层厚。该系统可实现6 nm内的胶片可重复性,并具有高达200 nm的视觉定位功能。综上所述，TEL Polaris 2000光刻装置是一种多功能、体积小、用于集成电路生产的CASS/Lithography机器，具有集成电源、多波形发生器、双区加热和自动吊舱装卸功能，以提高晶圆划线的性能和精度。该工具具有广泛的处理时间,允许精确的分辨率和可重复性。