二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9212671 待售

看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris
已售出
ID: 9212671
晶圆大小: 12"
Coater / Developer system, 12".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS是由FSI Ltd开发制造的先进光刻设备。该系统设计用于半导体加工应用的高精度、高通量的光刻胶阵列。该装置能够产生尺寸可达50 nm的图桉,具有极好的精度和可重复性。这台机器由先进的沉积和制图工艺组成,能够准确、高通量地创建光刻胶中的精细图桉。该过程的第一阶段是将一个光刻胶层沉积到晶圆表面上。这种光致抗蚀剂随后暴露于光源,如激光,光致抗蚀剂中的光效成分与光能发生反应,在光致抗蚀剂中产生图样或拍打。然后,工具使用溶剂在未暴露于光源的区域蚀刻光刻剂。这将在光刻胶中创建所需的图样。FSI Polaris资产配备了用于沉积和阵列制作过程的高精度自动扫描仪。该扫描仪能够精确定位和控制光源以及光刻沉积。该模型还包括高级软件,允许精确控制阵列制作过程。此软件允许调整光强度、图桉大小和形状以及其他参数。TEL Polaris设备还包括各种工艺和设备来处理暴露的光刻胶。这些过程包括烘烤和开发光刻胶,以及蚀刻和清洁暴露的光刻胶。该系统还能够创建复杂的模式,如通过孔通孔和多层模式,方便和准确。总之,北极星装置是一种先进的光致抗蚀剂机器,设计用于产生高精度、高通量的光致抗蚀剂图样。该工具配备了高精度的自动扫描仪、先进的制图软件,以及用于处理曝光的光刻胶的各种工艺和设备。该资产能够以极好的精度和可重复性创建低至50 nm的复杂模式。
还没有评论