二手 OPTORUN OTFC-1550 #9390009 待售

OPTORUN OTFC-1550是一种全自动光阻胶片处理设备，由基板涂层和显影室、粘度泵和光阻分配器组成。OPTORUN OTFC 1550提供了一种可靠且可重复的处理光掩模承载基板的方法，尺寸从200毫米x 200毫米到500毫米x 500毫米不等。该系统由一组腔室组成，每个工艺步骤都有一个专用腔室，包括基板涂层和显影、预烤、分配、后烘烤，最后还有一个光阻去除腔室。OTFC-1550从自动基板涂层室开始，在该室中，光致抗蚀剂以均匀的薄膜厚度施加到基板上。该腔室还具有进行预烤过程的能力，确保了均匀的底膜粘附。分配函数用于确保以所需的厚度将光掩模图桉精确分配到基板上。这是通过集成在设备中的高级光阻分发器实现的。在综合开发室内进行暴露和开发等后烘烤过程。这室有助于确保一个统一的，整体抗性薄膜轮廓。最后,使用光阻除去（PRR）腔室从基板上除去有害的光阻.这是通过先进的真空辅助技术实现的，该技术旨在确保统一的PRR结果。总体而言，OTFC 1550光刻机提供了一种可靠、可重复的基材加工解决方桉。它能够处理尺寸从200毫米x 200毫米到500毫米x 500毫米不等的带有光掩模的基板。此外，其集成的预烘烤、分配、后烘烤和PRR工艺可实现精确、均匀的光刻膜处理结果。