二手 SVG 8100 #168381 待售

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SVG 8100
已售出
製造商
SVG
模型
8100
ID: 168381
晶圆大小: 4", 5"
Track system, 4", 5".
SVG 8100是一种复杂的光刻设备,用于集成电路和其他纳米结构的微加工。它是一种步进光敏系统,是一种利用光将微观图样或图像转移到基板上的技术。该单元由四个主要组件组成:晶片级、步进器、光掩模和光源。晶片级用于在光刻过程中固定基板,其设计目的是提供最精确的运动,并确保基板与光源正确对齐。步进器配有聚焦在不同层次的透镜,用于阵列生成和成像到基板上。光掩码用于将所需的图样传递到基板上,通常由图像组成,如晶体管、接线图和其他微电子结构。最后,光源提供了将所需图样暴露在基板上所需的能量。8100使用称为EQC的精密计算机来控制整个过程。EQC是工具的基本核心,提供软件驱动的舞台控制、精密的照明资产和成像特性等功能。基于计算机的机器控制模型能够定制曝光特性,达到最高精度和模式保真度。机器也是高度自动化的,提供了"优化的自动过程优化",以实现最高的分辨率和产量与更少的迭代。用户还可以对自己的设计参数和梁特性进行编程,以实现定制模式。最后,机器能够进行多层成像,让用户同时支持单层和多层成像。总而言之,SVG 8100光刻设备是一个功能强大、可靠、技术含量很高的系统,旨在将微结构无大惊小怪地成像成基板。它非常复杂和自动化,为各种应用程序提供了典型的准确结果。
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