二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #160121 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款具有卓越清洁度和高生产率的光刻胶设备。该系统专为光刻和蚀刻工艺而设计。它使用一个特殊的软件和一个强大的激光精确地创建精确的照片面罩精确和控制曝光的光抗蚀剂。此单元非常适合更精细的特征尺寸和高精度应用。TEL Clean Track Mark 7在表面使用水溶性止动层，然后用高精度激光形成照片面罩。激光束用于在感光材料上精确创建所需大小和形状的开口。此技术允许50 nm至100 nm的特征尺寸和严格的公差特征精度。该机还具有高频率和均匀度的蚀刻速率，用于厚抗蚀剂或多重光刻抗蚀剂。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7有一个先进的控制器，监控照片面罩形成的质量并提供反馈，允许精确自动的面罩开发。控制器还具有质量保证功能,可在检测到任何错误时通知用户。这样可以快速、准确地采取纠正措施。该工具高度可靠,能够在不中断的情况下连续运行。它还有一个自动清洗周期，定期清洗照片面罩，防止残留物堆积，最终会阻止最佳性能。该资产还具有低功耗和低基板损伤。总之，CleanTrackMark 7是一种精密的光刻模型，设计用于光刻和蚀刻工艺。该设备具有先进的控制器，可监控照片掩模成形的质量，并提供最佳编程反馈。对于厚抗蚀剂或多重光刻抗蚀剂，它具有高频率和均匀性的蚀刻速率。该系统还具有自动清洗周期和低功耗。所有这些特性使得这种光刻胶单元非常适合精细或高精度的应用。