二手 TEL / TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8 #293658866 待售

TEL I/F Block for Clean Track Mark 8是一种光刻胶设备,专为光刻胶的精确曝光而设计,用于在基板上创建有图样的胶片图像。它经过精密设计,是一种经济高效、高通量、用户友好的曝光和图像开发工具。该系统的特点是对6英寸基板进行大约20m/s的调制扫描，使用户能够最大限度地减少曝光时间，减少光致图像模煳。它还具有自动晶片对准的功能，最大位置精度为0.1µm，以及对基板进行完整的图像边缘到边缘扫描。该单元利用高质量的光学成像机，确保了广泛的成像能力。设计采用两件式铸铁栅格,可全面控制基板抖动,轴向倾斜可调节,以便在基板上精确、可重复地放置图像。该装置的自动调平工具采用高速直线传动、精密编码器和Z轴检流计控制器，以确保基板定位准确、可重复。该资产旨在最大限度地减少与温度相关的光路膨胀和收缩,从而实现卓越的成像性能。TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark的高级曝光控制器利用图形用户界面进行用户友好操作。集成的PARADITM软件包允许用户优化曝光时间、光斑大小和聚焦等成像参数，以达到最大曝光精度。最后,该模型设计为在广泛的光敏涂层上提供卓越的成像性能。与TEL/TOKYO ELECTRON专有光刻产品一起使用时,精密曝光设备经过优化,以达到最佳性能。再者，该装置与各种第三方光敏产品兼容。TEL I/F Block for Clean Track Mark 8旨在为用户提供先进的曝光系统,以实现经济高效、高通量和用户友好的光阻成像。其设计特点确保了卓越的成像性能和最大的曝光精度。