二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK V8 #9142612 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8是由半导体制造技术领先创新者TEL生产的光刻胶设备。它是一种综合性的工具套件，设计用于快速、准确地开发制造微电子电路等固态器件所必需的光阻涂层。TEL MARK V8系统允许用户将其预定设计的特征尺寸与抗蚀剂涂层精确匹配。TOKYO ELECTRON MARK V8具有多种工艺，包括湿法或干法化学涂层、平板基板上的光刻胶自旋涂层、软烘烤、曝光后烘烤和蚀刻。该单元拥有一系列复杂的自动化工具，包括基板的自动加载、监控和边缘排除。它还具有激光功率、脉冲时间和模式分辨率等多种工艺参数的选择，以实现设备制造成功所需的可定制性和精度。MARK V8可集成到现有生产线中，与市场上大多数光刻胶兼容。旋转后,在专有的蚀刻解决方桉中开发了抗蚀性涂层,该解决方桉允许微调图桉形状的特征大小。机器还为许多应用程序提供了无与伦比的可重复性和可重复性检查。这样可以实现高度的可重复性和过程控制,这是设备制造高度精确的关键方面。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8采用最新的机械和电气部件安全标准设计，如绝缘材料和可安装的溢流罐，以容纳化学溢出。所有这些组件加起来都是一种高效可靠的光刻工具，可以满足现代半导体行业的需求。