二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage 5 #9399299 待售

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ID: 9399299
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" (2) Vulcan chambers (3) Factory interface: FOUPs Handler system CIM: Secs gem 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 5 Rapid Thermal Processor是为半导体制造和先进封装技术开发的先进的快速热退火(RTA)设备。这种可靠而坚固的RTA系统是为半导体器件制造和高级封装应用而设计的。AMAT Vantage 5提供快速的加热和冷却时间,出色的温度均匀性,以及精确的过程重复性.应用材料Vantage 5 RTA单元采用高级工艺控制(APC)技术,在产品尺寸越来越小的情况下提供了最高质量的结果。其专利的高级工艺温度控制(APTC)算法确保了最有效的温度均匀性。这台机器还具有自动优化功能,以确保最快的周期时间。Vantage 5的高速、高重复性和重复性是高性能应用的理想选择,尤其是在硅、SiGe合金等加工材料中。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 5 RTA工具设计有环境控制室,并设有气封外壳,为用户提供清洁、干燥、无化学物质的工作环境。其专利,自动粒子控制技术允许用户保持严格的粒子控制,保护晶片免受污染。资产还提供各种可自定义的选项,允许用户根据其特定需求和应用程序定制模型。AMAT Vantage 5通过其具有在线SPC、粒子监控器、数据采集、工艺和晶圆映射以及晶圆跟踪的高级控制器提供精确的过程监控。此外,它还提供各种定制的应用,如集成机器人手臂,漂洗设备和晶圆传输。综上所述,APPLIED MATERIALS Vantage 5快速热处理器是一种高级热退火系统,非常适合高性能应用。它通过先进的控制器提供出色的温度均匀性和可重复性,以及过程监控。Vantage 5还提供了环境控制室和可定制的选项,使其成为半导体器件制造和高级封装应用的完美解决方桉。
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