二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9202527 待售

STEAG/MATTSON/AST 2800快速热处理器是一种先进的半导体器件制造工具,旨在促进复杂半导体材料的快速、精确热退火。处理器结合了最新的超高速加热和冷却技术,以减少处理时间,同时保持高度的热控制和对称性。该装置采用双区气体分散喷嘴，允许适当的气体溷合物分布在晶片上，以实现最佳的热退火。此外,处理器独特的加热感应板可确保整个晶片表面的适当和一致加热。这样可确保进程运行之间的最佳热均匀性和可重复性。利用其板载计算机系统，处理器能够对晶片表面进行高度精确的热分析。利用高精度热通量传感器和先进的软件控制算法，以极高的精度测量和记录温度随时间的变化，实现了这一目标。然后,这些数据可以精确控制热退火时间和温度,同时提供反馈,以确保流程保持在预定的配置文件内。此外，处理器还配备了最新的安全技术，包括在意外过热情况下能够快速冷却晶片的应急热排除系统。此外,处理器的额定工作压力高达200毫巴,可确保细腻的材料在进行热退火时不会产生不良的副作用。总体而言,AST 2800快速热处理器是任何半导体制造操作的宝贵工具,需要对精细材料进行快速、精确的热退火。它结合了先进的温度测量和控制算法，加上复杂的安全特性，使其成为一种高度可靠和通用的设备，适用于各种过程。