二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9084734 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是由全球热处理技术领先的AST MATTOSN製造的快速热处理器（RTP）。它是一种通用设备，能够提供广泛的热处理应用，包括薄膜沉积、退火和快速热氧化（RTO）。该系统由连接到自动高温室的水平安装的感光器组成。该感光器能够达到高达950摄氏度的温度，设计用于高温精度的可重复性。该室采用卤素灯和石英空气加热装置，设计用于均匀加热感光器。该室还设有一个自动装卸晶片门，以及一个隔离的排气口，用于排出加工气体。该装置通常配置一个或两个石英灯和一个卤素灯。它可以连续、单批、自动化和半自动模式运行。晶片通过自动化的多级传输机制装入腔室。该机还配备了PID温度控制器，以确保均匀性和可重复性。该工具能够处理各种晶圆尺寸和基材，包括硅、砷化​​氙和蓝宝石。它能够变薄至6微米，退火70至1000欧姆/平方英尺，以每分钟70至150纳米快速热氧化至100摄氏度。该资产还具有溢价过程泄漏和长期周期稳定性,可重复、可靠的结果.总体而言,AST Helios是满足各种热处理要求的绝佳选择。无论是沉积薄膜还是快速氧化晶片，该模型都能提供可重复再现的结果。它具有强大的结构和自动化功能,是高效处理零件的最佳选择。