二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SA0150LP #181495 待售

TEL WAVERMASTERS TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SA0150LP是一种快速热处理器,用于通过TSV制造硅,以及半导体加工中的其他复杂应用。它用于紧致金属管线的退火和快速热退火（RTA）,用于创建超薄互连,并将其战略性地分布在产品表面上。该处理器对于创建最先进的集成电路组件至关重要,因为它允许修改TSV布局和在整个晶圆上均匀施加热量。在规格方面，WAFERMASTERS WAVERMASTERS TEL SA0150LP快速热处理器具有开放平台架构，允许灵活性和吞吐量优化。它配备了两个独立控制的加热级，能够在不到2分钟的时间内加热300 mm （12英寸）晶圆基板高达1,000 °C。晶圆温度精度为+/-2°C,可在90秒内达到。它还旨在最大限度地提高冷却速率,以使工作温度保持在最佳范围内,防止损坏晶圆表面的细腻结构。使用此设备,每小时最多可处理250个晶圆,具体取决于所需的过程。它特别适合先进的工艺要求，如金属、电介质和金属间材料，因为它的复杂性和提供的功能。用户可使用多达16个高精度气体输送点，从而能够将化学技术精确应用于各种工艺技术。TOKYO ELECTRON WAVERMASTERS WAFERMASTERS SA0150LP快速热处理器具有广泛的安全和保护功能,包括为用户提供基板温度实时可视化读数的光学高温计,以及确保在处理开始之前满足所有安全条件的多层互锁。此外，它的软件设计旨在确保晶圆永远不会超过最佳温度参数，防止过度处理、错误和其他风险。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS WAVERMASTERS SA0150LP是一款先进可靠的快速散热处理器，使用户能够快速安全地完成甚至最复杂的任务。它提供精确度、速度和高通量,是高端半导体处理应用的理想选择。