二手 AIXTRON 2400 G3 #9270057 待售

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AIXTRON 2400 G3
已售出
製造商
AIXTRON
模型
2400 G3
ID: 9270057
MOCVD System.
AIXTRON 2400 G3是一种高性能外延反应器,设计用于先进材料研究和生产高质量复合半导体。AIXTRON 2400G3是一种大功率、大容量、自动校正对称反应堆,允许广泛的材料进行处理,包括III-V化合物、II-VI化合物和石墨烯。2400 G3为研究和开发用于高性能电子、光电子学、量子计算和太阳能应用的下一代复合半导体材料提供了独特的功能组合。2400G3反应堆采用6英寸(15厘米)固体石英淋浴敏感平台,最多可选择六种元素。淋浴头敏感器中的细胞在热平衡上具有相等的入射通量分布,从而能够在大面积基质上均匀沉积。此外,对称设计确保均匀掺杂,并允许优化材料沉积速率。直观的软件允许用户轻松调整预设的流程参数,精度降至0.1nm。AIXTRON 2400 G3反应堆还具有高性能的Multi-ZoneTM控制器,可调整多达五个独立的工艺区域,以实现无与伦比的工艺控制。AIXTRON 2400G3反应堆能够调整每个区域的不同气流、温度、压力和电流,从而能够精确控制所有工艺参数,从而实现最复杂的工艺流程。2400 G3采用了多项高级功能,为用户提供了更大的便利。其中包括一个自动化的物料装载机,以便于基板的处理;保护电池的内置安全措施;真空系统和基板;多功能动力装置;用于高效系统监测和操作的远程访问;工具参数的自动控制;运行结束和过程报告。2400G3反应堆能够产生高纯度、无缺陷的材料用于各种用途。AIXTRON 2400 G3反应堆是那些寻找可靠、高性能反应堆以进行高级化合物研究和生产高质量半导体材料的人的理想选择。
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