二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9287470 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器。用于为微电子、光电工业沉积GaN、GaAs等半导体材料的超薄层。该反应堆采用水平管（HT） MOCVD配置，其中生长腔水平安装，便于维护和改进过程控制。它有一个全自动的升降机设备，便于进入加工室和运输晶片和基材。AIXTRON AIX 2400 G3/HT配备了加热至1000 °C的石英超雪盖敏感器和具有CAE扫描能力的温度控制系统。它是为了满足III-V化合物半导体材料如氮化氙和砷化的高速率沉积过程要求而设计的。其沉积均匀性极好，能沉积5-200 nm范围内的层。AIX 2400 G3 HT还能够容纳各种类型的液体输送系统，用于输送液体前体，如掺杂剂和钝化剂。反应堆使用氮气等快速溶解的载气，保证前体均匀、持续稳定的流动。这样就能够稳定的过程控制和一致的薄膜质量，减少前体的浪费。AIX 2400 G3/HT还具有独特的排气装置以降低污染水平。这台排气机包括一个额外的气体洗涤器和一个过滤工具，用于从腔室中清除有害物质。这使得生长室内的环境安全清洁，并提供稳定的过程控制。AIXTRON AIX 2400 G3 HT是生产各种光电和微电子器件的高效、可靠、具有成本效益的反应堆。它具有坚固的设计,能够在制造环境中稳定可靠地运行。凭借先进的工艺控制和监控能力，适合生产优质产品。