二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9293775 待售

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製造商
AIXTRON
模型
AIX 2400 G3 HT
ID: 9293775
优质的: 2004
MOCVD System Power supply: 14400 kVA 2004 vintage.
AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一种高温(HT)集束工具反应性离子束蒸发器(RIBE)设备,设计用于制造先进电子材料的复合层。它是AIXTRON集群工具系列的最新产品,能够提供制造高性能、高温(HT)薄膜和其他微结构材料所需的最先进的体系结构特征。AIXTRON AIX 2400 G3/HT由沉积室、等离子体发生器组件、基板加工区组成,全部封闭在一个大的、屏蔽的、风冷的不锈钢外壳内。该系统能够在50-900摄氏度的温度范围内生产先进的沉积配方,沉积速率高达7nm/min。它还包括先进的多传感器过程控制单元以及实时晶圆跟踪功能。沉积室被封闭在真空室中,并装有高温射频等离子体发生器,用于在沉积前对基板进行预处理和加热。AIX 2400 G3 HT的等温薄膜处理能力允许生产复杂和多层结构。该室的计算机控制数据采集单元便于精确的机器数据处理、连续的过程监控,并使定制的工具参数调整能够优化过程流。等离子体发电机组件由感应耦合射频源组成,输出功率可调节至700瓦。其气体进料口直接连接到气体板,以获得所需的流量和压力。基板加工区配有两个晶片间距级,一个用于低温加工,另一个用于高温加工。晶片夹紧装置可确保高温材料在基板上的准确和可重复沉积。基板加工区还配备了激光传感器模型,用于严格端点精度和实时基板跟踪。综上所述,AIX 2400 G3/HT是一种为生产高温薄膜和其他微结构材料而设计的坚固可靠的集群工具反应式离子束蒸发器设备。其计算机控制的沉积室、等离子体发生器组装和基板加工区域为制造复杂的先进电子材料层提供了高效、经济高效的解决方桉。
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