二手 AIXTRON AIX 2400/2600 G3 #9029074 待售

AIXTRON AIX 2400/2600 G3是为精确控制气相沉积而设计的半导体沉积反应器。反应堆提供了广泛的沉积过程，如化学气相沉积（CVD）、低压CVD（LPCVD）、原子层沉积（ALD）、物理气相沉积（PVD）、磁控管溅射和金刚石沉积。AIXTRON AIX 2400/2600 G3反应堆以一系列模块化元件建造，以适应特定的工艺要求。它提供高性能的处理、快速的腔室循环时间、快速的泵降时间和严密的过程控制以及低压和温度变化。设备配备了精确的运动控制转录机器人，保证了温度的均匀性和沉积速率的均匀性。机器人可以配置不同的基板形状和尺寸，以适应各种应用。AIX 2400/2600 G3反应堆装有先进的运动控制系统，可以准确控制沉积过程。该单元由一个现场总线网络、几个运动轴和专门为沉积过程开发的智能软件机组成。该工具允许精确控制沉积速率、温度、压力和其他沉积参数。AIX 2400/2600 G3反应堆还配备了一组传感器，可以进行准确的过程监测。这允许对流程参数进行实时分析,从而能够精确控制流程。AIXTRON AIX 2400/2600 G3是为了在操作时最大的安全性和可靠性而设计的。该反应堆的设计目的是在发生火灾或气体泄漏的风险非常低的情况下运行。此外，反应堆还配备了双级压力资产，使其能够对工艺参数的任何变化做出快速反应，从而防止对模型的任何潜在损害。最后，AIXTRON AIX 2400/2600 G3反应堆的设计提供了过程管理的灵活性。它的模块化设计允许广泛的流程配方、可扩展的设计和定制的流程参数,从而实现了广泛的自定义应用程序要求。这有助于快速优化和开发流程,使用户能够更好地控制流程。