二手 AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O #9352626 待售

AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O是一种先进的分子束外延（MBE）反应器，为发展先进的光电材料结构而设计，用于生长超薄膜。它是业界最强大、效率最高的MBE反应堆之一，利用了最新的AIXTRON增长技术。这座先进的MBE反应堆能够种植各种低维电子和光电材料，在广泛的领域有着众多的应用。AIX 2600 G3 HT-O采用独特的三重腔室设计，由生长腔室、传递腔室和载荷锁组成。生长室是独立加热和加压的，允许在整个生长过程中精确的热和压力控制。它容纳了几个MBE源，包括但不限于Carbon, Nitrogen, Gallium, Indium, and Aluminum，以及一个石英晶体振荡器。通过高真空互锁设备连接到生长室的转移室负责在生长室和负载锁室之间过渡样品。负载锁室设计用于样品装卸，配有两个样品支架，一个用于基板，一个用于参考晶体。AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O利用专利德加技术、多区或"特定区"加热系统和先进离子束溅射等先进的AIXTRON技术。德加技术在生长室产生1x10-2毫巴的压力，提供极其清洁的无微量污染的材料。多区加热装置用于在整个腔室中更有效地传递热量，并且可以编程到区域的特定区域。先进的离子束溅射（IBS）源能够沉积几乎任何材料的非常薄的薄膜，并且专门设计用于限制溅射过程中的损伤。AIX 2600 G3 HT-O的其他特性包括高真空涡轮泵，与负载锁定和转移室相连，有泄漏检测机，还有穿梭阀。高真空涡轮泵有助于快速排空生长室和转移室之间的空气，以及负载锁和转移室之间的空气。泄漏检测工具监控资产内可能的气体泄漏。最后，使用穿梭阀在模型内进行紫外光电子光谱和扫描电子显微镜分析等分析实验。总体而言，AIXTRON AIX 2600 G3 HT-O是当今最先进的MBE反应堆之一。其精确的温压控制能力与先进的生长技术相结合，使其成为探索纳米结构和发展先进光电材料结构的理想工具。