二手 AIXTRON AIX 2600 G3 HT #9359365 待售

AIXTRON AIX 2600 G3 HT是制造多种有机发光二极管（OLED）材料的关键部件。这一关键反应堆通过使用创新的溷合微波/热墙技术提供了非凡的能力。该技术允许高温退火至600 °C,并在极低和高热预算的情况下生产材料。AIX 2600 G3 HT由于其Hybrid Technology，将Hot Wall、Hot Source、Microwave处理结合在同一腔室中，是一款先进的设备。该系统通过使用三个独立的工艺区域提供精确的温度和工艺控制；这些领域代表了OLED材料生产的三个最重要方面：基材制备、材料沉积和退火。这些区域可分为三个独立的窗口，然后用于生产具有不同热预算和特性的材料。AIXTRON AIX 2600 G3 HT通过使用其闭环温度控制实现了紧密的过程控制环路。它使用闭环温度控制（CLTC）来确保在过程的每个阶段中准确地建立由操作员设置的正确的热剖面。AIX 2600 G3 HT还使用真空晶片翘曲（VWW）来补偿晶片在生产过程中的自然翘曲。AIXTRON AIX 2600 G3 HT由于其精心设计的冷却器腔室，包含一个碳化硅（SiC）加热元件和两个强大的冷却风扇，在退火过程中提供了极好的均匀性。这在整个晶片或基板上提供了非常均匀的温度轮廓，无论基板尺寸或厚度、基板坚固性或过程的复杂性如何。AIX 2600 G3 HT由于直观的图形用户界面，也极具用户友好性和易于操作。此图形用户界面提供了操作系统和从人体工程学椅子的舒适度监控整个过程所需的所有信息。AIXTRON AIX 2600 G3 HT是OLED生产的可靠而强大的工具。它的溷合技术提供了出色的温度和过程控制，以及卓越的均匀性。其用户友好的界面，加上强大的技术，使其成为制造多种OLED材料的集成解决方桉。