二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9302603 待售

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製造商
AIXTRON
模型
AIX 2800 G4 HT
ID: 9302603
优质的: 2008
MOCVD Systems 2008 vintage.
来自AIXTRON的AIXTRON AIX 2800 G4HT系列反应器利用高温工艺沉积了III-V和III-V类化合物、金属和电介质等薄膜材料。它结合了极高的沉积速率和高质量的沉积层,极精确的过程控制,低维护,以及对过程引起的振动的免疫力。这使得AIXTRON AIX 2800G4-HT系列反应堆在先进的半导体和光电器件生产中为高通量工艺进行了优化。AIX 2800G4 HT系列反应堆具有过程自动化、强大的过程控制能力和高速EFEM控制功能。反应堆还提供了高功率、极低工艺温度、大面积沉积和无与伦比的空间分辨率的独特组合。这使得它非常适合对高吞吐量、周期时间短或对均匀性和无缺陷增长有严格要求的应用程序。AIXTRON AIX 2800 G 4 HT系列具有直径为2.8英寸、高度为0.255英寸的熔点和感受器。这使得反应堆能够以精确和均匀的方式沉积层。ECM控制设备还采用了热壁炉设计,提供了高精度和重复性的均匀炉温。该反应堆还采用了独特的、精心设计的双气体控制系统,用于高质量的沉积。双气体控制单元的主要特点包括气体供应稳定性高、气体活化快、多余气体自清洁、实时监测/控制过程参数能力等。这一尖端反应堆还提供了改进的性能和安全特性。它配备了一个创新的惰性气体级联机,确保操作过程中的安全和减少停机时间。它还配备了基于人工智能的数据分析和过程监控功能,从而改进了过程控制和优化。AIX 2800 G4 HT系列反应堆是发展高通量、高参数先进设备的理想工具。它提供一流的性能,以及自动化和精确的控制、安全功能和大面积沉积。
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