二手 AIXTRON AIX 2800 G5 #9358478 待售

AIXTRON AIX 2800 G5是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器，用于生产复合半导体。该反应器的设计目的是对厚度降低到单层的复合层进行精密沉积。其设计包括一个能够承受高温和超高真空（UHV）环境的自动反应室，以及一个五英寸、高温和UHV基板支架。这允许生产符合最高质量标准。AIX 2800 G5是一款全彩色系统，使用专有的LED和数字成像系统实时监控胶片增长。因此，其短期精度水平为0.005 nm（50 pm），长期精度水平为0.01 nm（100 pm）。该设计允许将背景压力调整至5x10-7 mbar,并将工艺压力设置为8-60 mbar。再者，反应室可以支撑25-900°C之间的温度，这取决于工艺应用。AIXTRON AIX 2800 G5融合了双快门设计，每个快门独立控制。这允许在同一腔室中沉积来自同一来源的两种材料。此外，反应堆能够进行批处理和连续处理，这取决于应用的需求。在安全方面，AIX 2800 G5是用外壳打造的，以防止危险材料。此外，反应室内和周围还存在环境传感器。当任何参数发生变化时,这些传感器都会不断监视流程环境并提醒操作员。这有助于确保安全高效的操作。总体而言，AIXTRON AIX 2800 G5是生产复合半导体的强大工具。它是将金属-有机化学气相沉积（MOCVD）与双快门设计相结合，为精密沉积而设计的，使得复杂的作业能够在一个室内完成。该设备还具有对薄膜生长和环境传感器的精确监控功能,以确保操作员和设备的安全。