二手 AIXTRON AIX G5 HT #9123386 待售

AIXTRON AIX G5 HT是一种高度先进的先进沉积工具,专门为光学和显示行业提供性能和灵活性的最高标准。AIXTRON AIX G5 HT使包括蓝宝石、氮化的和碳化硅在内的多种基材的加工达到业界要求的最高厚度和均匀性规格。AIX G5 HT是一种热管系统，或称热壁沉积反应器，利用基板的自限表面温度来控制表面层的温度和沉积速率。这种不透明的沉积技术可以在各种材料上提供精确的层厚度。由于石英管内的流动保护性，沉积发生在密封环境中，提供了一个无湍流的过程，良好的热分布和沉积特性的再现。该反应堆具有极好的模块化和灵活性，便于维护和定制，可用于各种薄膜沉积应用，如绝缘体、电介质、导体、量子点、透明氧化物和氮化物。AIX G5 HT能够生长具有较高厚度均匀性和大于99.99%纯度的钝化层。高沉积速率高达每秒几百埃导致了高质量产品的快速循环时间。AIXTRON AIX G5 HT由于能够在从特高压到大气的压力范围内运行，完全能够迎合技术要求最高的应用。这可以由于在其工艺室内使用可燃或复合气体如氮、氧和氢而实现。反应器还具有使用激光或加热敏感器在加工前对基板进行调理的能力。反应堆利用触摸屏计算机化用户界面，借助强大的图形建模软件，使研究人员能够优化其流程，创造更简单的配方。该软件提供了一系列工具，如配方创建、沉积过程再现和诊断，以确保沉积层的高产率和可重复性。AIXTRON AIX G5HT的设计以安全性为优先。它配备了一系列安全功能，例如在危险气体泄漏的情况下自动撤离加工室。它还具有一个用于气体管路的隔离阀，在紧急情况下通过停止气体流动来防止工艺室泄漏。总之，AIX G5HT是一种非常先进、用途广泛、可靠的光学和显示器生产工具。能够生产质量优良、规格最高的薄膜层。反应堆的模块化和灵活性使其成为多种工艺的理想工具,内置的安全功能为您的所有制造需求创造了高度可靠的解决方桉。