二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353178 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器。它是工业生产高质量光电材料，如发光二极管（LED）和激光结构的一种广泛使用的工具。Crius 31x2能够同时沉积多达两个不同的III-V材料结构，允许对复杂的多层异质结构进行单晶圆处理。反应堆有几个不同的成分，包括锁载室、扩散室和反应室。锁载室用于将基板（如GaAs基板）转移到扩散室中。扩散室是一种容器，用于在将底物转移到反应室前逐渐预热。反应室是反应堆的主要工作环境。它是一种石英反应管，装有两区温度控制，最多可调节两种不同的材料过程。Crius 31x2配备了原位计量能力，需要能够以无损方式测量薄膜厚度、尘埃颗粒和其他相关参数。这允许为特定的材料属性定制工艺,或确保时间效率高的批量生产。此外，Crius的"31x2"命名法指的是它具有的独立反应空间的数量：利用两个IRS，Crius可以同时沉积两个独立的反应。Crius 31x2还为用户提供了可靠的再现结果。它为目标材料的快速增长提供了高度优化的自动化配方,可逐层控制。Crius 31x2的製程室设有专用的供气歧管和射频发生器，允许气体流动和製程条件的弹性增加。反应堆还提供出色的温度均匀性，温度范围为-60°C至700°C。总体而言，AIXTRON Crius 31x2是一种出色、可靠的MOCVD反应器，用于光学半导体和激光元件的工业生产。它为多层异质结构沉积提供了无与伦比的速度和精度，并为可重现和可靠的结果提供了可靠的自动化过程控制。