二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353179 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种先进的、可生产的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）反应器，专门为生产高性能半导体和光电子而设计。它在光电、纳米电子、平板显示器、太阳能电池、MEM和发光二极管（LED）等广泛的应用领域提供了处理灵活性和卓越的工艺控制。此设备提供了多种功能,旨在优化工艺性能并实现卓越的坡度,达到高产量的生产率。AIXTRON Crius 31x2反应堆中的PECVD过程是基于在高真空中生成等离子体。等离子体用于加热前体气体，这些气体然后一起反应并沉积在基质上。该工艺可用于在25-500 °C的温度范围内沉积各种类型的材料，如氧化物、氮化物和金属。该系统设计有先进的实时过程控制单元，以确保可重复和可靠的沉积过程。这样就可以优化设计可重复的工艺步骤和准确的工艺监控，以实现所需的沉积特性。AIXTRON Crius 31x2反应堆具有卓越的工艺灵活性,能够加工直径达350 mm的基板。该机采用了一种优化的、高可靠性的钟形源，最多可容纳两个气源，其设计目的是尽量减少气储需求，减少大型晶片生产批次的停机时间。AIXTRON Crius 31x2是一款生产就绪的工具,易于操作,并且需要最少的维护。资产还提供完整的参数集和高级流程控制功能,包括实时流程反馈和数据记录功能。AIXTRON Crius 31x2具有内置的安全模型,旨在最大程度地减少意外接触潜在危险材料。这包括多层安全，如多个安全联锁，对危险参数的监测，以及在紧急情况下关闭设备的可能性。该系统还具有非常低的振动水平和较低的功耗,以最大程度地降低运行成本。综上所述，AIXTRON Crius 31x2是一种高性能、生产就绪的PECVD反应堆，旨在满足光电和半导体行业的需求。它以可靠和安全的方式提供高级流程控制和广泛的流程功能。AIXTRON Crius 31x2是一款经济高效的高批量生产运行解决方桉,可提供最大的灵活性,以适应各种制造过程。