二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353183 待售

AIXTRON Crius 31x2反应堆是为晶体、复合半导体和LED技术设计的高性能生产设备。它能够提供强大的工艺控制和统一的生产结果，并能够使具有p型和n型掺杂剂的较大晶片增长。Crius 31x2非常适合基于SiGe和InGaN的电源设备、OLED等大面积基板和掺杂多epi层。AIXTRON Crius 31x2反应堆是一个单晶片、非保形、磁约束的PECVD室。它将射频等离子体活化和高效的高频感应加热系统结合在一个单元中。该装置能够在高达1000 °C的温度下运行，并提供超低热应力沉积，这对于提高外延产率和结晶度至关重要。该单元还配备了一台用于光学测量能力的机器，以产生高度均匀的器件层，并监控腔室条件以进行工艺优化和控制。31x2使用31种预定义的标准配方,用于针对特定应用程序量身定制的各种流程。这些配方预先安装在设备上,可以根据用户的特定流程要求进行调整。该单元配备了双射频源，可选择并行、串联或分频的射频影响。这种动态配置允许跨层进行高精度处理和统一。Crius 31x2是一种坚固的生产级工具,可用于电源SiGe设备、LED和OLED晶片以及复合半导体薄膜等应用。其集成的优化能力使其成为具有均匀层和最小热应力的复合半导体制造的理想选择。高吞吐量和过程控制使薄膜层的快速生产具有精确的控制,同时最大限度地提高了正常运行时间。