二手 AIXTRON Crius 31x2" #9380259 待售

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製造商
AIXTRON
模型
Crius 31x2"
ID: 9380259
MOCVD System.
AIXTRON Crius 31x2是一种金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器,设计用于研发以及制造复合半导体和光电器件。这类MOCVD平台设计用于实现对III-V类半导体和II-VI类半导体等多种材料以及有机和无机材料的沉积和外延的精确控制。AIXTRON Crius 31x2具有两区垂直处理管、两区感应器和温度控制系统,温度控制系统精确到0.01 °C。它具有自动化的过程控制器,可精确控制温度、压力和过程参数。它还包括一个触摸屏显示屏,允许用户实时监控和调整不同的流程参数。AIXTRON Crius 31x2还配备了热过程传感器,可用于监测反应堆内部的过程。AIXTRON Crius 31x2的沉积速率高达10µm/hr,能够产生厚度低至10nm的层。也能产生掺杂均匀、粗糙度低、电阻率高的化合物。其定制设计的反应室,旨在允许精确的过程控制,为样品沉积提供了一个稳定的环境。AIXTRON Crius 31x2配备了先进的可编程工艺室和先进的物料来源,能够高效准确地控制物料的生长。这些源提供了对温度、压力和源基比的精确控制。AIXTRON Crius 31x2也可以配合其他辅助工具使用,例如气体供应和阴影面罩,用于特定的应用。AIXTRON Crius 31x2旨在在沉积过程中提供最大的用户安全性和过程兼容性。它的电子系统设计是为了防止错误的操作和潜在的错误操作,因为不正确的布线。此外,它的自动化流程旨在确保每个流程运行的可重复性,从而实现可重复的流程。AIXTRON Crius 31x2是一个通用、先进的MOCVD平台,用于研发,使各种材料的沉积得以精确和可重现。其定制设计的反应室、对工艺参数的精确控制以及先进的物料来源,为化合物、光电器件和其他材料系统的沉积和外延提供了高度的控制。
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