二手 AIXTRON Crius II #9270073 待售

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製造商
AIXTRON
模型
Crius II
ID: 9270073
优质的: 2011
MOCVD System GaN 2011 vintage.
AIXTRON Crius II是一种最先进的等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)反应器,将先进的工艺技术与卓越的质量、成本效益和多用户操作相结合。该设备具有易于使用的GUI,允许经验丰富的用户配置反应堆参数以获得最佳性能。利用其灵活的工艺室设计,可以在较短的沉积时间内沉积广泛的薄膜材料。Crius II是一个多室系统,有两个过程室:反应室和底物室。反应室装有感应耦合13.56MHz源,用于产生射频等离子体。AIXTRON Crius II配备了独立的射频电源,允许精确的功率控制,具有低波纹和高水平的重复性,适用于广泛的沉积过程。Crius II能够产生多种气体的高功率和高压等离子体,允许用户根据所需的结果调整工艺。底物室配有一个底物加热器,温度由一个外部循环单元控制,用于载流子、氮气和氙气。该机器设计用于在多种温度范围内运行,能够均匀加热至850 °C。AIXTRON Crius II还具有主动冷却工具,可确保最佳沉积工艺条件。Crius II包括一个过程控制模块,带有用户友好的软件,用于沉积过程的配置和优化。可以根据用户规格调整一系列工艺参数,如功率水平、工艺气体成分和工艺时间。AIXTRON Crius II在结构上是模块化的,允许根据各种沉积应用程序的需要更改资产硬件。Crius II是一种多功能反应堆,为用户提供利用PECVD工艺优势的能力。AIXTRON Crius II的寿命长、成本效益高、沉积效果高,是各种不同薄膜项目研发的绝佳工具。
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