二手 AIXTRON Crius II #9272517 待售

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製造商
AIXTRON
模型
Crius II
ID: 9272517
优质的: 2010
MOCVD System Missing parts: Eurotherm 24 V relay 2010 vintage.
AIXTRON Crius II是为高精度生产半导体晶片而设计的先进外延生长反应器。采用创新的双源沉积方法,为无缺陷异质结构装置的制造提供了一种精确可靠的方法。Crius II利用由入口源、生长带和基板平面组成的六边形三区腔室。入口源结合了高效气流系统和优化的基板辐照源。气流单元用于在精确受控的压力下将均匀供应的前体分子送入生长区。底物辐照源确保底物的所有部分均匀暴露于传入前体分子的化合物贡献下。生长区配有高精度旋转晶片载体,通过精心设计的热衬里加热至所需生长温度。然后在整个过程中保持此温度,确保最大均匀性。基板也通过使用双密封设计保持在恒定温度。结合这两种方法,均匀地冲压分子的晶体组成,引发外延生长.AIXTRON Crius II还利用了最先进的计算机监控机器。此工具可以从生长室和控制单元中捕获数据,从而使用户能够实时查看其生产过程。可以监视此数据是否符合流程参数,并在发生任何流程中断或故障时提醒操作员。此外,这些数据还可用于生成流程报告和跟踪资产的总体绩效。通过利用先进的工艺技术,Crius II为生产缺陷率极低的晶片提供了异常可靠和精确的方法。该模型已被广泛应用于多种应用,从MEMS和光电元件到新的半导体器件。
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