二手 AIXTRON Crius II #9272520 待售

AIXTRON Crius II是一个双源、最先进的MOCVD反应堆，设计用于大容量硅和复合半导体生产。它拥有紧凑的占地面积和用户友好的工作面。Crius II具有多项创新功能,具有快速晶圆传输、高吞吐量以及手动和自动控制选项,可增强流程。AIXTRON Crius II被专门设计用于生产硅基板/晶片、高效太阳能电池生产、LED制造、MEMS/MOEMS、3D IC和HC GRIN镜头。Crius II提供精密涂层和计量系统，以增强过程的重复性。先进的独立双源设备为每个应用程序提供精确优化的增长条件，支持提高产量和缩短周期时间。每个源，例如气源，都可以创建自己的特定条件集，为最大系统性能优化提供灵活性。AIXTRON Crius II还具有高效、可配置的Multi-Reactor设计，可实现复杂结构的多层沉积。先进的光学干涉仪为工艺调谐提供双向支持。该单元具有实时波长和强度控制，能够动态优化过程。此外，Crius II还为光学滤波器测量提供专门的反射测量解决方桉，并对沉积过程提供连续的光学监测。AIXTRON Crius II配备了一套广泛的安全特性。其气候控制设计采用闭环压缩空气冷却机，以提高工艺性能。此外,Crius II还具有高级远程访问调试功能,以支持AIXTRON全球服务团队。总体而言，AIXTRON Crius II是一种可靠、健壮的多功能MOCVD反应堆，为制造商提供了高性能、可扩展性和用户灵活性的优势。凭借其高通量率、精密工艺、安全特性和先进的光学监控，Crius II是制造大容量复合半导体基板的理想选择。