二手 AIXTRON Crius #9184894 待售

AIXTRON Crius是一种最先进的分子束外延（MBE）反应器，设计用于半导体工业的研究和生产应用。它是一个完整的生产解决方桉，提供MBE和其他薄膜沉积/蚀刻系统之间的接口。Crius反应器由三个主要组成：生长室、MBE源室和真空室。生长室是矿床或蚀刻形成的区域。它包含几个组件，包括一个敏感器、一个拉伸板、晶片支架以及控制沉积或蚀刻过程所需的其他组件。MBE源腔是用于外延过程的气体输送的地方。真空室用于维持生长室内的低压气氛。AIXTRON Crius反应堆的加工温度范围很广，从167°C到1000 °C，可以容纳直径达200 mm的基板，生长面积可达25 mm2。Crius利用电脑化的控件使过程自动化，允许用户输入和调整精确的程序和参数设置。生长环境由系统监控和控制,其功能包括在温度或压力水平升高时自动关闭。AIXTRON Crius反应堆利用间接加热系统，已知该系统提供三元、四元和更高的源密度，允许复杂材料在单个晶片上生长。它还具有一个计算机化的装载机，它允许更薄的晶片在不接触基板或基板支架的情况下被装载。反应堆设有安全特性，防止人员意外暴露。总体而言，Crius反应堆是半导体行业研究和生产应用的理想解决方桉，提供高质量的薄膜沉积和蚀刻能力，具有先进的自动化和控制水平。