二手 AIXTRON Crius #9184895 待售

AIXTRON Crius是一种化学气相沉积（CVD）反应器，可用于各种半导体过程。Crius的设计目的是在比其他经典的CVD反应堆能达到的温度和压力更低的情况下，在大面积上提供高均匀性的沉积速率。这座反应堆也提供了市场上最低的运行成本。反应堆采用双淋浴头布置，增加了沉积过程的均匀性。这种构型迫使气流均匀地渗透到腔室两侧，避免了腔室内沉积物料量的变化。使用旋转的圆形淋浴头大大提高了腔室边缘沉积过程的平滑度。AIXTRON Crius反应堆可以达到各种半导体工艺所需的温度，最高可达1,500 °C。Crius配备了三个RF电容器，配置用于原位等离子体生成，允许更高的反应堆性能，以及处理更高材料密度的可能性。反应堆可以在5 mBar至6.7 bar的压力范围内运行，这取决于工艺参数。AIXTRON Crius还提供了广泛的气体配置,允许各种应用。增强的过程控制选项包括自动腔室清洗、自动气体切换和实时过程监控。Crius也与AXR SDK软件套件兼容，方便反应堆融入更大的环境。此软件包括高级外来对象检测功能以及端到端数据采集功能,这些功能包括生产率监视、依赖于部件的嵌套和高级路由计算。AIXTRON Crius拥有较低的运营成本，以及增强的过程控制和强大的软件套件，是半导体和太阳能电池处理的理想选择。