二手 AIXTRON Crius #9184896 待售

AIXTRON Crius是由AIXTRON开发制造的高温化学气相沉积（HTCVD）反应器。Crius反应器设计用于生产大面积薄膜和使用各种高质量沉积工艺的纳米结构装置。反应堆装有全透射式礼帽式石英室，方便接触基板或样品。AIXTRON Crius是有机发光二极管（OLED）和薄膜太阳能电池等研发应用的理想选择。Crius是一个可靠、高效的反应堆，在高达400°C的温度下运行。它配备了AIXTRON专利的多点点火系统，能够快速启动和简化清洁和维护过程。该反应堆还设计为与AIXTRON先进的过程控制软件配合使用，该软件允许快速准确的过程参数调整。AIXTRON Crius具有全自动装卸系统，能够在几分钟内将基板移入和移出腔室。集成的射频发电机可以轻松提供高功率，从而获得统一、高效的结果。Crius反应器通过蒸馏室和敏感仪机架得到增强，从而能够快速分析不同材料的化学和物理性质。此外，AIXTRON Crius反应堆与AIXTRON先进气体输送系统兼容，便于安全处理反应性气体。Crius拥有高达每小时400晶圆的高速生产率，是批量生产的理想解决方桉。该反应堆易于集成到现有生产线中，最低限度的设置和维护要求。该反应堆设计满足广泛的工艺要求，可用于基于硅烷、硅氧烷和卤素化学的沉积工艺。此外，AIXTRON Crius还配备了多项安全功能，包括气体探测器、火灾探测器、超压防护和绝缘工艺气体供应线。综上所述，Crius是一个高度通用的HTCVD反应堆，提供准确和可重复的结果。配备自动化装卸系统、安全特性、过程控制软件，是大型、工业生产优质薄膜和纳米结构装置的理想选择。