二手 AIXTRON G2 #9222131 待售

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AIXTRON G2
已售出
製造商
AIXTRON
模型
G2
ID: 9222131
优质的: 2012
Metal organic chemical deposition system (MOCVD) 2012 vintage.
AIXTRON G2是一种模块化和可升级的沉积设备,具有金属盒架以及各种控制器和样品架配置。该系统设计用于金属有机物化学气相沉积(MOCVD),或更俗称金属有机沉积(MOD)。它是为高效生产高质量多量子井III-V半导体器件而设计的。该装置的主要部件是沉积室,该沉积室由一个用于模具前体引入的射频驱动等离子体源和一个压力监测器、一个具有快速释放和更换样品和晶片机构的双轴样品支架以及一个用于支撑尺寸不超过12英寸的基板的工件支架组成。该机还对沉积室进行多区大气控制,确保准确的生产结果。G2支持广泛的工艺配方,使其能够适应不同的应用,如磷光体转换LED(PC-LEDs)、氮化深刻(GaN)器件、高掺杂底物、纳米线和量子井结构。该工具还具有许多特定于区域的工艺控制选项,包括可变沉积速率和可调射频功率。这增加了资产对薄膜晶体模板沉积的能力,从而支持设备制造所涉及的各种过程。该型号还配备了先进的监控设备。此系统使用户能够实时监视进度,还提供了远程调整流程参数的选项。它还允许用户存储和召回配方以及优化工艺配方,这使得该单元具有灵活性,能够满足不同设备的特定要求。在机器维修方面,AIXTRON G2提供现场支持和维护服务。即使在延长使用该工具之后,这也能确保一致的生产性能。总体而言,G2是一种可靠的模块化和可升级的沉积资产,具有广泛的功能和工艺功能。它旨在提供过程稳定性和一致性,同时能够高效生产高质量的III-V设备。
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