二手 AIXTRON G4 #9222127 待售

AIXTRON G4是一种革命性的反应堆设备，设计用于生产含硅材料。它提供了卓越的性能，使得生产先进的薄膜材料和纳米结构的大规模。它以最新的掺杂剂技术为特色，以增强多种材料的生长，包括能够掺入铝、氙和砷（AlGaAs）等元素。反应堆系统由工艺室、射频发生器、气体输送单元和集成沉积监测机组成。该室是一个完全计算机化的外壳，旨在实现可重复、自动化的过程控制。它针对低温工艺进行了优化，使得在具有广泛不同工艺要求的基板上生产高质量薄膜成为可能。射频发电机能够提供高达100 W的射频功率，频率范围从6 kHz到40 MHz。这种功率可以精确调谐，以满足特定的气体工艺要求。它还提供了出色的安全特性，如过温保护和电弧故障检测。气体输送工具由若干个单独控制的配气出口组成。这种资产可以精确控制材料的沉积速率和产量，包括能够避免在所需的厚度上涂覆过大或过低。此外，这一模式还根据工艺要求提供了使用各种气体的灵活性。最后,AIXTRON G4采用集成沉积监测设备.该系统由光发射光谱（OES）、薄膜厚度测量装置和在线质量控制组成。结合这三个组成部分使G4能够直接现场监测沉积过程，实时提供过程反馈，并立即提醒操作员注意任何问题。总而言之，G4是一个革命性的反应堆单元，旨在提供广泛的材料生长能力。其创新特性、高精度控制和广泛的监控能力相结合，使其成为大批量生产先进材料和纳米结构的理想选择。