二手 AIXTRON G4 #9222130 待售

AIXTRON G4是AIXTRON的G系列反应堆家族成员。它是一个低压化学气相沉积（LPCVD）反应器，特别为晶体和半导体材料生长而设计。该计算机控制反应堆的特点是其组件设计得到改进，性能更高，运行效率更高。与其他系统相比,它提供了更好的一致性、可重复性和可重复性,同时涵盖了广泛的增长过程。AIXTRON G4采用密闭微波室，允许金属和非金属衍生物沉积在不同的晶圆材料上。它配备了两个ECR（电子回旋共振）等离子体源，提供可调节的功率水平和广泛的压力水平频谱。微波设备是独立控制，允许小，但精确，对气体的流量变化。还包括AIXTRON CleanScan II视频系统,允许实时现场监控。反应堆支持单个晶片和负载锁交换单元。这台机器的设计使单面和双面晶片的工艺具有均匀性和可重复性。晶片的加载机构也被自动控制和调整，确保了安全可靠的沉积环境。G4对温度、压力等必要参数的调整也是高效的。它能够提供精确的控制，达到更高的性能和均匀性与精确的层间形成。它的腔室还配有一个不锈钢波纹管，旨在提高腔室的均匀性，其低机械应力，防止过热。该工具还确保了单个晶片上可重复模式的一致性。G4是处理半导体和微电子工业中各种材料的理想工具。凭借其精确精确的操作，非常适合优化半导体器件，如硅薄膜、绝缘子上硅器件和应变硅。