二手 AIXTRON LYNX3 #9158988 待售

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AIXTRON LYNX3
已售出
製造商
AIXTRON
模型
LYNX3
ID: 9158988
优质的: 2006
CVD system 2006 vintage.
AIXTRON LYNX3是一种高端III-V外延反应堆,设计用于生产质量最高的III-V材料。它基于AIXTRON工业尺寸300 mm HDP-CVD和LPCVD平台,提供直径可达200 mm的基板尺寸。其先进的CVD平台提供低温、高精度、高通量的工艺,非常适合复合半导体器件制造等应用。LYNX3反应器设计用于使用各种III-V材料生长单层、多层和异质结构。其专有的调制外延层沉积(MELD)技术使得量子点和量子环等多组分层的精确、低温增长成为可能。AIXTRON LYNX3的独特功能包括高级晶圆对准和剖析、高级温度控制和扩展表征功能。反应堆工作压力范围广,温度控制先进,精度为0.01 °C。其先进的晶圆对准和剖析系统在X、Y和Z轴上提供精确的晶圆对准。它的可扩展表征和计量系统可以确定厚度、折射率和晶体结构。反应堆先进的SiNx扩散Windows和蚀刻Windows可实现有效的表面各向异性和晶体表面特性,从而提高设备性能。它的羽内氧化能力使直接氧化和数字传输层具有更高的可重复性和更好地了解氧化参数。该反应器还具有可编程快门控制功能,使实验可重复进行,并增强了工艺优化。LYNX3旨在满足工业用户的特定需求,并提供高度的可扩展性和灵活性。该反应器具有先进的特点和更强的可控性,非常适合多层结构和杂交增长,精度和吞吐量最高。其先进的CVD平台确保了设备性能优化的可重复性和均匀性。
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