二手 AIXTRON Tricent #9222204 待售

AIXTRON Tricent是当今半导体工业所需的用于高容量沉积的最先进的沉积反应器。为了降低成本和时间,Tricent利用统一的垂直系统以最有效的方式提供沉积和热处理。AIXTRON Tricent的内部结构由一个石英管（充当反应堆室）和几个气体入口组成。石英管有一个中央加热元件，由绝缘材料包围，以作进一步保护。此外，还有一个先进的温度控制器，用于精确控制温度并达到期望的效果。为确保温度准确,安装了一个监视器,可提供实时反馈和控制。Tricent的一个主要特点是能够处理高反应性和精细材料。AIXTRON Tricent具有两个独立的处理头-精确调制源（PMS）头和重型源（HDS）头-能够处理不同的工艺化学。PMS头设计用于处理敏感和反应性材料，如氮化物、氧化物和多晶硅，而HDS头则用于金属、合金和聚合物等较重沉积。Tricent配备了高精度的等离子体源，可以完全控制等离子体环境。可以对等离子体源参数（如压力、流量和电力）进行操作,以生成针对特定应用进行优化的自定义过程。此外，图样晶圆加工也是可行的，使得AIXTRON Tricent能够进行非常精确和均匀的沉积。最后，Tricent配备了6轴机器人晶圆处理系统，具有卓越的精度和重复性。这个机器人可以处理大批量的晶圆，允许更快的处理时间和更高的产量。总体而言，AIXTRON Tricent是一种高度先进的沉积反应堆，旨在在最苛刻的工业环境中提供最大的生产力和准确性。利用先进的工具和技术,Tricent一定会成为先进材料加工的首选。