二手 AIXTRON VP 2400HW #9222203 待售

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AIXTRON VP 2400HW
已售出
製造商
AIXTRON
模型
VP 2400HW
ID: 9222203
MOCVD System.
AIXTRON VP 2400HW是一种金属有机化学气相沉积(MOCVD)的高端外延反应器。该反应堆的设计符合制造工艺的最高要求,具有沉积金属氧化物、硅和氮化物层的能力。AIXTRON VP 2400 HW配备了高Delta压力工艺室,并配备了提供更纯净气体的高端MOCVD源单元,以及提高的生产产量。该源集成在较高压力的工艺室内,从而改善了材料沉积的均匀性。VP 2400HW还配备了高端自动感应装卸设备。该系统能够同时处理多达4个晶片,并提供了反应物引入的微调。该单元还允许在没有任何人工干预或昂贵的外部机器人的情况下加载和卸载晶片。VP 2400 HW配备弹性晶圆定位机。这种工具可以精确定位晶片上方的反应物,还具有多区加热选项,可以均匀加热样品,最高可达1400 °C。先进的AIXTRON VP 2400HW 3-Zone烟囱设计允许对整个工艺室进行连续加热和冷却。这种设计还使生产高度均匀的层具有更高的精度。AIXTRON VP 2400 HW还配备了流程监控资产,可以进一步优化流程参数。由于VP 2400HW的创新设计,工艺室和源单元可以很容易地分离和更换。这种设计还通过避免腔室与源之间的任何潜在污染来确保提高安全性。VP 2400 HW是一种先进的MOCVD沉积模型,可提高生产产量、均匀涂层和工艺优化能力。它是要求提高生产率和金属氧化物、硅和氮化物层生产质量水平最高的制造商的理想选择。
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