二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-09920 #293655134 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-09920反应堆是一种用于半导体加工的全沉积（FD）低压化学气相沉积（LPCVD）设备。AMAT 0090-09920是一个先进的系统单元，能够处理各种材料，包括硅氧化物、氮化物和碳化物。该机还支持多层沉积和原子层沉积（ALD）等创新工艺。APPLIED MATERIALS 0090-09920反应堆设计为高可靠性、低维护，使用户实现了优异的工艺控制和可重复性。它由厚厚的墙壁不锈钢室构成，允许基板和工艺气体之间进行高效的热交换。内室由顶部、中间和底部加热部分组成，底部部分与Asher类型协同工作，以达到所需M-1.3沉积速率和厚度。0090-09920装有自动气体分配台，确保对气体流量和溷合物的准确控制。它还配备了先进的化学控制工具，使用户能够以电子方式控制温度和化学反应物，以便进行准确和可重复的处理。该资产还提供对数据、流程参数和配方的实时访问,以便于流程评估。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS 0090-09920有内置压力监测子系统，为保护基板和人员安全提供了超压保护模型。总而言之，AMAT 0090-09920是一个强大、紧凑、高效的反应堆，能够以高产率和高精度生产高质量的半导体器件。其先进的工艺控制和安全特性使其成为加工各种材料的安全可靠的选择。APPLIED MATERIALS 0090-09920的性能和创新使其成为现代半导体制造的理想选择。