二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-29971 #293656311 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0242-29971反应堆是一种用于制造多种半导体材料的高性能工具。该单晶片离子注入反应器提供了卓越的均匀性、剂量精度和产率。反应堆的最大电离束电流为2.50 A，在多环设计中采用了十二个独立的离子源。它在10-4 Torr的最大压力下运行，涡轮转速范围为0至4,500 RPM，温度范围为100-500 °C。此外,它还具有两个高精度对准级和1-20 MeV的可调能量扫描范围。AMAT 0242-29971反应堆设计有先进的腔室部件和特点，以确保高效加工。基板支架组件由提供基板安全定位的不锈钢杆组成。气体和流体分布板防止与其他气体掺杂。顶部和底部气体引入组件具有优化的供应系统,可确保气体的正确输送,帮助优化给药时间并确保结果一致。APPLIED MATERIALS 0242-29971反应堆也有10千瓦射频电源，具有各种调谐配置。它具有隔离调谐垫，可快速产生薄膜沉积，对导电材料和介电材料均具有优异的效果。此外，反应器包括多个传感器，用于测量和监测腔室压力、温度、气流和离子源电流。0242-29971反应堆的优点包括加工效果可靠且均匀，性能优异，循环时间快，底物损坏最小。这使得它成为各种要求苛刻的半导体制造工艺的理想工具。