二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #293665719 待售

AMAT APPLIED MATERIALS 7800 RPX是专门为半导体器件制造而设计的下一代8英寸基板加工反应器。AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX提供了高性能的微制造和高级阵列设计,减少了占地面积和成本。AMAT 7800 RPX具有耐用的高性能设计,针对低能耗批量和动态腔室工艺进行了优化。其坚固的结构保证了半导体过程的可重复性、可控性和高精度。反应堆的效率保证了它能够轻松处理工业级半导体产品制造所需的大批量晶圆生产。具有可调荧光光源的先进光学封装允许对光刻过程进行精确和可重复的控制。自动装载机和多个装载口确保快速、准确的底物装卸。此外，该腔室设计具有可靠的德加和晶圆夹紧能力。APPLICED MATERIALS 7800 RPX增强了等离子体设备性能，消除了过程的变化，提高了过程的重复性。双频开关电源使等离子体系统保持在所需的进程参数下运行。先进的温度控制单元和水平热晶片支撑提供了温度均匀性和更快的冷却速率。带有制冷剂-液体冷却热交换器的自动快速响应闭环气体出口机可确保有效的气体和化学控制,并减少停机时间。反应堆内部设有防止辐射泄漏的射频屏蔽装置，腔室顶部覆盖有IMD绝缘板，确保最大热效率和工艺腔内最佳散热。AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX附有一个配气箱，配有兼容的阀门、管子和仪表，用于有效的气体计量。利用警报、指示灯以及温度和压力传感器，反应堆实现了更好的实时过程控制和监控。它还有一个集成的晶圆处理工具，使用密封的Symmetric Lane技术进行可重复、自动的基板处理，不会受到污染。AMAT 7800 RPX是一种全能反应堆，旨在在半导体制造作业中提供卓越的性能。它是一种高度可靠的资产,具有极高的精度、准确性、可重复性和鲁棒性。