二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9069030 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811是一种低压化学气相沉积（LPCVD）反应器，设计用于生产高纯度薄涂层，如氮化硅、多晶硅、氧化硅、钨等。反应器室由不锈钢组成，根据工艺应用情况，额定运行温度可达1050 °C。AMAT AMC 7811的内部容积为1.2至7.6立方英尺,可容纳多达5个100 mm基板、4个150 mm或2个200 mm基板。反应堆配备了强大的晶圆运输，通过设备快速、精确地移动基板。转运器以高达10kHz的频率运行，提供快速反应时间。晶圆传输被设计成工作与频率调制射频发生器的精确基板定位。APPLIED MATERIALS AMC-7811还具有最先进的过程控制系统,能够监控和控制重要的过程参数,如温度、腔室压力、流量和湿度。此外,该设备还提供先进的气体纯度和晶圆均匀性诊断功能。这些特性保证了每种基板的工艺可重复性，从而使涂层厚度和结构均匀。AMC 7811旨在通过提供高效、高质量的生产工艺来满足制造商的苛刻要求。它在广泛的温度和压力范围内提供均匀性和可重复性，均匀性优于± 1%。此外，该机器能够产生低至10nm的沉积速率和高达每秒40埃的沉积速率。AMAT AMC-7811反应堆为研究和生产要求提供了一个紧凑可靠的工具。它非常适合生产薄层,并通过直观的图形用户界面（GUI）方便维护和服务。此外，该资产与AMAT系列流程模块完全兼容，以便用户根据需要进一步定制。